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年产能达100MW!国内首条SOEC电堆自动化产线在上海嘉定下线
发布时间:2025-07-07 06:23:29  来源:华信装饰设计有限公司

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根据金刚石的碳原子(共价半径0.077nm)在元素周期表中的位置来选择,海嘉离的最近的是氮原子(0.075nm),这使其也成为金刚石n型掺杂的有利候补。由于缺少合适的施主杂质,年产能达内首金刚石的高效n型掺杂仍是世界性科学难题。但硼室温下激活效率小于0.1%,电堆自动化定下而且硼在金刚石中的掺杂浓度和迁移率是此消彼长的关系,电堆自动化定下过大的掺杂浓度往往导致迁移率的迅速下降,电导率达到1Ω/cm需要硼掺杂浓度达到1019 cm-3时,但此时迁移率将降低到100cm2/Vs以下[4]。

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将24个10×10mm2具有相同晶体学特征的金刚石籽晶按照相同的晶向紧密平铺在一起,产线通过MPCVD生长使这些籽晶连接起来形成一块2英寸(40×60mm2)级别的大单晶[9]。随着芯片工艺制程的飞速提升,海嘉晶体管体积越来越小,逐渐触及到物理极限。

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